三維形貌儀是一種科學儀器，是用來偵測并分析現實世界中物體或環境的形狀(幾何構造)與外觀數據(如顏色、表面反照率等性質)。可分為接觸式、非接觸式、激光等類型。

　　三維形貌儀的應用有三維表面輪廓測量、粗糙度測量、膜的臺階高度測量、空間分析和表面紋理表征、曲率測量、二維薄膜應力測量、表面質量和缺陷檢測等。

　　本產品適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線段剖面，三維線路、混合和固定繪圖，用于階越高度測量的地區差異繪圖。

　　三維表面形貌儀技術特點：

　　1、每秒一百萬張二維圖像

　　2、無損表面形貌檢測和分析

　　3、高精度在線/離線檢測

　　4、模塊化設計，超高集成靈活性

　　5、無需苛刻的工作環境(振動，噪聲，溫度等)

　　6、可應用于科研和工業領域

　　三維表面形貌儀應用領域：

　　工業：

　　食品安全在線檢測

　　微電子集成電路表面形貌在線檢測

　　印刷電路板品質檢測

　　零件器件表面劃痕損傷檢測

　　微機械精加工質量控制，如鐘表，微機械器件等

　　電子產品零件在線監控，如手機，筆記本電腦，平板等

　　微流體器件三維形貌檢測

　　在線檢測設備集成

　　證件防偽，安檢

　　科研：

　　MEMS器件

　　微機械零件表面形貌觀察和測量

　　微光學器件(太赫茲、紅外、微波、天線陣列)三維形貌表征

　　生命科學：生物組織/生物體的 三維形貌測量