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三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus

簡(jiǎn)要描述:自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標(biāo)測(cè)量和表面形貌測(cè)量于一體的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):G5
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-11-07
  • 訪  問  量:3504

詳細(xì)介紹

產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域電子

三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5

自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標(biāo)測(cè)量和表面形貌測(cè)量于一體的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)。

 

 

自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5的突出特點(diǎn):

一款*的3D光學(xué)測(cè)量?jī)x

InfiniteFocus G5整合了微型三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)所有的功能。

萬能和高效

LED環(huán)形燈的設(shè)計(jì),使表面測(cè)量的范圍幾乎不受限制。

高分辨,高可重復(fù)性和可溯源

即使對(duì)于復(fù)雜樣品表面,仍可以獲得高達(dá)10納米的垂直分辨率

高測(cè)量速度

InfiniteFocus的測(cè)量速度可以達(dá)到170萬點(diǎn)/秒。

模塊化和可擴(kuò)展性

新的功能可以很容易通過擴(kuò)展測(cè)量模式整合

全自動(dòng)

測(cè)量簡(jiǎn)單且自動(dòng)化程度高,如自動(dòng)更換物鏡等

 

 

自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5的主要技術(shù)參數(shù):

位移范圍(X軸、Y軸、Z軸):100mm×100mm×100mm

樣品表面結(jié)構(gòu):表面形貌Ra>9nm,Lc=2µm,取決于表面結(jié)構(gòu)

大樣品高度:100mm ~ 345mm

大樣品重量:30kg

水平分辨率:0.44µm

垂直分辨率:10nm

大掃描高度:22.5mm

大擴(kuò)展視野范圍:10000mm2

大單一方向掃描范圍:100mm

測(cè)量速度:170萬個(gè)測(cè)量點(diǎn)/秒

小測(cè)量高度:0.01µm

大測(cè)量高度:22.5mm

大測(cè)量范圍:10000mm2

大測(cè)量形貌長(zhǎng)度:100mm

小可重復(fù)性:0.001µm

小測(cè)量粗糙度(Ra):0.03µm

小測(cè)量粗糙度(Sa):0.015µm

小測(cè)量半徑:1µm

小測(cè)量垂直角度:20°

大測(cè)量?jī)A斜角度:87°

 

自動(dòng)變焦 G5比InfiniteFocus G4擁有更*的性能

測(cè)量速度增加20倍

自動(dòng)設(shè)置

適用更多材料及更復(fù)雜表面的測(cè)量

更穩(wěn)定,更精密的測(cè)量

測(cè)量精度更高,尤其對(duì)于大范圍面積樣品的測(cè)量

 

 

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